石英ガラス

石英ガラスには天然水晶を溶融した透明石英ガラスと、良質な珪石を溶融した不透明石英ガラス、そして高純度の四塩化珪素を原料とした合成石英ガラスがあります。純粋に溶融されたSiO2を主成分とする石英ガラスは純度の高さはもちろんのこと、化学的安定性、耐熱性、光の透過率、そして電気絶縁性に優れているなど、数多くの特性を持ち合わせています。その為、半導体産業ををはじめ、照明、家電、光学用など様々な産業分野で欠かす事のできない材料として幅広く利用されています。
弊社ではこの石英ガラスの高い純度を保ちながら、お客様の様々なニーズに則した形状に加工しています。

石英ガラス製品

火炎加工品例

近年では、半導体・液晶製造工程(酸化、拡散、LPCVD、アニール他)における、石英ガラス製の大口径加工品のご要望が多くなりました。ウエハーサイズも12インチを主流とし、φ450mm品の開発も行われる中、透明石英製の大型炉芯管・大型チャンバーなど、使用の幅はますます広くなっています。
弊社工場では大口径品に対応するべく、専用機を設けて任意の径に自在に成形する技術を保有しています。
経験豊富なスタッフが、製作上必要なご提案をし、お客様との機密保持を維持しながら、満足いく製品をご提供いたします。

石英大型ベルジャー

加工実績(最大サイズ)
外形700mm、肉厚6mm、長さ1500mm

封じ部は板張りではなくストレートチューブを丸封じ加工にて制作
封じ部のRも任意のRで制作が可能です

石英大型ベルジャー

石英角型管

石英管を特殊な成形方法で角形に加工します。
角形以外にも楕円形状なども加工可能です。

石英角型管

特殊溶着加工品

接着材を使わない特殊な方法にて板同士を張り合わせます。

張り合わせの際の板表面の平面度も良好で
張り合わせ後の表面再研磨は必要ございません。

耐薬品性や高温下での使用も可能で且つ、張り合わせ部分の透過率も損なうことはありません。

特殊溶着加工品 特殊溶着加工品

不透明石英加工

不透明石英管は国内メーカーでの製造はほとんどなくなりましたが、石英ヒーター用の材料などで現在も用途があります。
弊社では独自ルートにて材料を調達し加工することが可能です

ブロック材については高純度品の取り扱いも可能です。

不透明石英加工 不透明石英加工

切削、研削加工品例

純度の高い石英ガラスも硬くて脆いと言う性質は一般的なガラス材料となんら変わりはありません。
弊社工場ではこの難削材料への高精度な加工要求にお応えするため、様々な形状のダイヤモンドツールを装着したグライディングセンター・NC平面研削盤、円筒用研削旋盤を導入し、溝切り、穴あけや円筒・平面研削、ネジ切りなどの形状を可能にしています。

CO2三次元レーザー加工

加工精度はマシニング加工には劣るものの連続性のある穴あけ加工や石英管への切削加工に威力を発揮します。

  • 対応ワークサイズ:1000×900×500(H)(mm)
  • 加工対応最大厚み:10mm
  • 穴あけ最小サイズ:φ0.3mm
  • パイプの外周面にも加工が可能です
CO2三次元レーザー加工 CO2三次元レーザー加工

研削加工

マシニングセンターでの加工は金属加工品にも引けを取らない精度で加工可能です。
ネジ切り加工はオスネジ、メスネジ共に対応可能です。
液体やガス等の流体使用時の継手として、摺り合わせの加工も可能です。

  • オスねじ研削加工
  • 対応規格 Mネジ、RCネジ
  • ボールジョイント mm、インチ規格に対応
  • テーパー摺合せ 1/5 1/10テーパー
  • 真空摺り用なども対応可
研削加工 研削加工

円筒研削加工

小口径から大口径までの円筒研削が可能です。シール面の確保などは必要な部分のみを加工する事でコストが抑えられます。

円筒研削加工実績(最大サイズ) φ400~φ800
φ400以下も中型、小型研削旋盤にて対応できます(~φ4mm)

円筒研削加工

検査装置

一点一点が手加工である石英ガラス加工品もお客様の様々なご要望に応えるべく検査装置にも力を入れています。
接触式、投影式の三次元測定器を使用し、幾何学公差や多点測定にて信頼のおけるデータの提供をお約束いたします。

検査装置

  • 3次元測定器(接触式)
  • 3次元測定器(投影式)
  • 表面粗さ測定器
  • 光学顕微鏡
  • 紫外可視分光光度計
  • サーモグラフィー
  • 干渉型ひずみ計
検査装置 検査装置

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お客様の声を大切に、製販一体となったサポート体制を取っております。
京都・大阪・名古屋・福山・金沢・久留米・横浜に拠点を持ち担当者が豊富な知識で対応させて頂きます。

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